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納米精度電動升降臺

電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進電機驅動的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進電機的角位移轉換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機和控制器。驅動電機及控制器主要決定驅動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標參數(shù)有位移精度、行程、負載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

上海昊量光電設備有限公司推出的電動升降臺傳動螺桿采用滾珠絲杠實現(xiàn)高速平穩(wěn)運動，*的螺桿品質使平移臺擁有的分辨率、定位精度。采用超高等級交叉滾珠導軌+LM滑軌，在確保了升降臺，具有超高的運動性能。該系統(tǒng)采用光柵尺閉環(huán)控制，在確保大行程的同時，分辨率達到了10nm。按照定位精度區(qū)分，我司電動升降臺可分為 10納米精度位移臺和亞微米精度位移臺兩種類型。

1）10nm精度電控升降臺

該系類電控位移臺是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統(tǒng)?？梢蕴峁┭卮怪狈较虻木芤苿优c定位。其采用光學線性位置編碼器，在提供大行程的同時，使設備擁有較高的精度。該產品采用滾珠絲杠驅動和LM滑軌+交叉滾珠導軌導向，確保了升降臺的精度及線性度。目前該產品提供5mm和10mm兩種不同行程的電控位移臺。

2）亞微米分辨率電控升降臺

該系類位移平臺是指分辨率可達到亞微米精度的精密運動系統(tǒng)。該系統(tǒng)也是光學編碼閉環(huán)控制，精度可達到50-100nm，可提供5mm和10mm不同行程的電控位移臺。

此外這兩種版本的升降臺可提供真空條件下使用的版本，可適用的的真空條件為10-4Pa，真空度約為10-6 Torr。

納米精度電動升降臺主要特點
高分辨率
高重復定位精度
采用滾珠絲杠，實現(xiàn)高精度定位
采用高等級交叉滾珠導軌，具有超高運動性能

u 主要應用

超精密激光加工、超精密三維掃描測量、全自動計量儀器檢測設備、工業(yè)自動化等領域。

主要參數(shù)：

亞微米電控平移臺參數(shù)：

型號	行程（mm）	大負載(N)	分辨率(nm)		重復定位精度(nm)		大移動速度(mm/s)
型號	行程（mm）	大負載(N)	FC-411	FC-111	FC-411	FC-111	大移動速度(mm/s)
AU-FS-1005Z	5	49	50	100	±100	±200	5
AU-FS-1010Z	10	49	50	100	±100	±200	5

納米電控平移臺參數(shù)：

型號	行程（mm）	大負載(N)	分辨率(nm)	重復定位精度(nm)	大移動速度(mm/s)
AU-FS-1005PZ	5	49	10	±20	5
AU-FS-1010PZ	10	49	10	±20	5

納米精度電動升降臺

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